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净化无尘车间的环境控制与检测
1000级净化无尘车间（/）的环境控制与检测
在集成电路的制造过程中，被加工的是单一的硅片，从原材料到产品需要进行几百道物 理、化学加工工序，其间如果遭受污染，就会引起产品大量报废，例如64MDRAM，在制造过程中，空气中尘埃粒径应被控制在0.035ym以下；环境微振动值应控制在4.5×10—3 mm/s以下，在光刻工序，很小的微振动会引起对位不准，影响产品的成品率 为了满足集成电路日益精细的加工要求，各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究，取得了大量科技成果，涌现了一批高科技产品，诸如***效过滤 器（过滤效率达99.999 ***）的问世及IS0 3级(O.lpm)无尘车间的建立；超纯水及超纯 气体的应用；隧道式无尘车间及微环境系统无尘车间的出现和使用，大大降低了污染。
随着科学技术的发展、进步，防微振技术必须不断地探索、提高和深化，这将是历史的必然。而解决好防微振技术。
防微振的重要性体现在各行各业：例如感光化学工业，彩色胶片乳剂层14个涂层总厚度仅19pLm，在涂布过程中由于微小的振动将使乳剂涂层厚薄不匀，在胶片上产生横纹；在惯导技术方面，为了提高导弹的打击精度，准确命中目标，需要对陀螺仪、加速度计及组合制导（卫星、导航、地形匹配及景物匹配）系统的精度提出高的要求，这种高精度惯导系统的调试和检测，必须在极为宁静的环境中进行；对于微电子工业，线宽0. 1y.m (4G DRAM)产品已进入市场，硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求极为严格；其他 如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制以及理化风淋室系列实验等都需要对微振动进行控制。
在防微振领域，从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面独特的建 树，为集成电路生产提供了一个优良的环境。可以认为风淋传递窗，当今微污染控制领域诸多科技成果 的出现无不与集成电路生产的飞速发展有关。 集成电路工厂的前工序（硅片加工）对微环境控制最为严格。在防微振方面，要求工厂，建造在远离铁路、机场、公路干线且绿化较好的地区，厂区总平面布置要求单建的动力站房 与洁净厂房之间留有足够的距离。
我国对防微振的研究及工程实践始于20世纪60年代初期，经历了几代人的努力，不仅 建立和完善了防微振理论，开发了防微振用系列化隔振产品，还进行了大量的工程实践，成 功地解决了彩色胶片涂布、惯导系统测试、集成电路光刻工序、空间光学系统检测、激光实 验、超薄金属轧制、文物保护等方面的防微振问题，为我国现代化科技的发展做出了贡献。
安徽人和环境科技有限公司()，是安徽人和集团旗下专业从事净化工程设计、装修、净化设备销售为一体的净化工程公司，主营手术室净化工程、实验室净化工程、无尘车间装修。电话：4008-252627/0551-62893788/15555126122.
